390511-3-YE-T微离子ATM真空计模块具有1x10-9托到大气压的压力测量、NW16 ISO-KF法兰接头以及RS485/模拟通讯。包括一个用于局部压力读数的数字显示器。包括三个设定值控制继电器，以简化过程控制功能。它具有氧化钇涂层的铱离子真空计灯丝和真空度测量单元。将成熟的微离子电离真空计技术与微型对流式热损耗传感器和两个压电电阻传感器相结合，提供了从高真空到大气压的准确、连续的压力测量。390 微离子®ATM微离子/对流式/压电真空计模块使用隔膜传感器，能够提供高达大气压的准确绝对压力，以及真空室与环境的压差的准确指示。独特的真空传感器设计消除了在较高压力下可能会影响热损耗传感器性能的热效应。小型390型微型离子ATM将所有四个传感器和控制电子设备结合在紧凑的模块化设计中，从而减少了腔室所需的仪表数量，并且最大限度地减少了所需空间。