NEWPORT 优铂特 GM50A013101RMM020 GM50A Metal Sealed 10-50,000 sccm Mass Flow Controllers
质量流控制器，10 sccm N2，4VCR公头，0-5VDC，DB15，金属密封
G系列GM50A013101RMM020质量流控制器具有10 sccm的满量程流量范围，并且针对氮气（N2）进行了校准。它具有Swagelok 4 VCR外螺纹接头和带接地线的15针D型连接器，用于0到5 VDC的质量流控制。这个常闭阀具有金属密封。G系列质量流控制器利用最新的MKS控制算法，可实现在整个设备控制范围内对设定点进行快速、可重复的响应。典型的响应时间在500毫秒量级。数字校准在氮气校准气体上可达到设定点精度的1％。
参数
跨度温度系数
<0.08% of Reading/°C
入口压力系数
<0.02% of Reading/psi
典型稳定时间
<750 msec, typical above 5% Full Scale
预热时间
30 minutes
工作温度范围
10 to 50°C
存储湿度
0 to 95% Relative Humidity, non-condensing
存储温度范围
-20 to 80°C
外部泄漏完整性
<1 x 10-09 (scc/sec He)
通过关闭阀门泄漏完整性
Up to 10K valve <0.1% of FS at 40 psig to atmosphere, 20K - 50K valve <1.0% of FS at 40 psig to atmosphere
润湿材料
316L S.S. VAR, 316 S.S., Elgiloy®, Nickel, KM45
密封材料
Metal
表面光洁度
10µ inch average Ra (electropolished)
重量
3 lbs (1.4 kg)
CE 认证
Yes
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