NEWPORT 优铂特 GE50A013103RMV020 GE50A Viton Sealed 10-50,000 sccm Mass Flow Controllers
质量流控制器，1000 sccm N2，4VCR公头，0-5VDC，DB15，氟橡胶密封
G系列GE50A013103RMV020质量流控制器具有1000 sccm的满量程流量范围，并且针对氮气（N2）进行了校准。它具有Swagelok 4 VCR外螺纹接头和带接地线的15针D型连接器，用于0到5 VDC的质量流控制。这个常闭阀采用氟橡胶密封材料。G系列质量流控制器利用最新的MKS控制算法，可实现在整个设备控制范围内对设定点进行快速、可重复的响应。典型的响应时间在500毫秒量级。数字校准在氮气校准气体上可达到设定点精度的1％。
参数
系列
G Series
类型
Mass Flow Controller
校准气体
N2
满量程流量范围
1000 sccm
最大入口压力
150 psig
正常工作压差
10 to 40 psid
验证压力
1000 psig
爆破压力
1500 psig
配件类型
4 VCR Male
控制范围
20 to 1000 sccm
流量输入输出信号
0-5 VDC
连接器类型
15-pin Type D (Tied Grounds)
典型精度
±1% of set point for 20 to 100% Full Scale, ±0.2% of Full Scale for 2 to 20% Full Scale
重复精度
±0.3% of Reading
分辨率
0.1% of Full Scale
零温度系数
<0.05% of Full Scale/°C
跨度温度系数
<0.08% of Reading/°C
入口压力系数
<0.02% of Reading/psi
典型稳定时间
<750 msec, typical above 5% Full Scale
预热时间
30 minutes
工作温度范围
10 to 50°C
存储湿度
0 to 95% Relative Humidity, non-condensing
存储温度范围
-20 to 80°C
外部泄漏完整性
<1 x 10-09 (scc/sec He)
通过关闭阀门泄漏完整性
Up to 10K valve <0.1% of FS at 40 psig to atmosphere, 20K - 50K valve <1.0% of FS at 40 psig to atmosphere
润湿材料
316L S.S. VAR, 316 S.S., Elgiloy®, Nickel
密封材料
Viton
表面光洁度
16µ inch average Ra
重量
3 lbs (1.4 kg)
CE 认证
Yes
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