带有基于MEMS的Micro Pirani™真空传感器的925-31030 Micro Pirani™真空换能器是基于独特的MEMS（微机电系统）真空传感器的热导真空计。这款925换能器提供从1x10-5托到大气压的广泛测量范围，并且具有1/8英寸母头NPT接头。它具有一个RS232数字通信接口，用于设置传感器参数以及提供实时压力测量。一个15针高清Sub-D公头连接器，具有可以连接到外部模拟设备以进行压力读数或者控制的1VDC/decade的模拟压力输出，具有三个用于过程控制的机械继电器，例如互锁阀或者泵。MicroPirani传感器由一个带有加热电阻元件的硅芯片组成，形成了腔体的一个表面。芯片顶部的盖子形成了腔体的另一个表面。由于传感器的几何形状，在腔体内不会发生对流，因此，传感器对安装位置不敏感。气体分子仅通过扩散传递到加热元件，在那里测量气体的热损耗。和所有热导传感器一样，925对气体类型敏感。为了补偿对气体的依赖性，MicroPirani具有许多可以通过数字接口进行选择的常用气体校准。这使得它成为定位真空系统中的中等到微小泄漏的简单解决方案。925的紧凑设计显著地降低了真空计占用的空间。这对系统设计者特别有吸引力，并且允许更为紧凑的真空系统。