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NEWPORT 优铂特 253B-20-2CF-1  253B Exhaust Throttle Valves
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NEWPORT 优铂特 253B-20-2CF-1  253B Exhaust Throttle Valves

品牌： NEWPORT 优铂特
型号： 253B-20-2CF-1
18938648240
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NEWPORT 优铂特 253B-20-2CF-1   253B Exhaust Throttle Valves



排气节流阀，0.779英寸ID，2.75英寸CF法兰，挡板O型圈



253B-20-2CF-1排气节流阀控制从处理系统排出的气体。它具有0.779英寸（20毫米）的标称内径以及2.75英寸的CF法兰盘。包含一个挡板O形圈。调整挡板来控制气流，从而控制过程压力。253拥有专利的放置在挡板传动轴和电机驱动轴之间的非线性促动器，能够产生一个线性的阀传输特性并且提供平稳的线性压力控制。253类型有标准尺寸和法兰样式可供选择，并且与所有MKS节流阀控制器都是兼容的。





参数
  • 类型
    Exhaust Throttle Valve
  • 法兰类型
    CF
  • 法兰尺寸
    2.75 in.
  • 内径
    0.779 in. (20 mm)
  • 阀门驱动
    Mechanical (non belt) drive with integral cosine generator
  • 阀门速度
    7.5 s
  • 分辨率
    1/10,000
  • 挡板O型圈
    Yes
  • 氦气泄漏率
    1 x 10-8 scc/sec
  • 闭环泄漏
    <10-7 (Torr l/s)
  • 工作温度范围
    Valve Body: 0 - 90°C
    Valve Motor: 0 - 70°C
  • 通过阀门的最大压差
    1 Atmosphere





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