HAMAMATSU 滨松 S13124-01 MEMS 振镜
微型、高性能、线性模式
电磁驱动二维激光扫描 MEMS 振镜
S13124-01 是一款电磁驱动振镜，采用了我们独特的 MEMS（微机电系统）技术。通过将磁体布置在振镜下方，设备尺寸得以缩小。在线性模式下实现了二维扫描。围绕振镜的线圈中流动的电流基于弗莱明定律产生驱动振镜的洛仑兹力。滨松 MEMS 振镜提供宽光偏转角和高镜面反射率。
特点
- 线性模式下的二维扫描
能够进行矢量扫描和步进操作
- 紧凑
- 低电压驱动：适合安装在设备上
- 使用窗材：防止异物污染
- 提供的评价电路：C15087（单独出售）
| 类型 | 双轴线性扫描 |
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| 操作模式 | 第一个轴：线性模式
第二个轴：线性模式 |
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| 振镜尺寸 | φ1.95 mm |
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| 振镜材料 | 铝 |
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| 光偏转角 | 第一个轴：±10°
第二个轴：±10 ° |
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| 驱动频率（最大） | 第一个轴：90 Hz
第二个轴：90 Hz |
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外形尺寸图（单位：mm）
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