OLYMPUS 奥林巴斯 MX63L 半导体晶圆检测显微镜
让您的大尺寸样品检测流程更加顺畅
MX63和MX63L显微镜系统经过优化，适用于最大尺寸300 mm的晶圆、平板显示器、电路板以及其他大尺寸样品的高质量检测。其采用的模块化设计使您能够选择需要的组件，获得根据应用定制的系统。
这两款符合人体工学设计且人性化的显微镜有助于在提高工作效率的同时，保持检测员的工作舒适性。与PRECiV图像分析软件结合使用时，可以简化从观察到报告创建的整个工作流程。
多功能
设计满足电子行业的人体工学和安全性要求，并以更多功能提高分析能力。
人性化
简化的显微镜设置使用户可以更轻松地进行系统设置的调整和重现。
高级成像技术
我们成熟可靠的光学器件和卓越的成像技术可提供清晰的图像和可靠的检测。
模块化
用户可以使用适合其应用的组件进行系统定制。
应用图像库
我们先进的图像管理功能可为您呈现您真正想要观察的内容
先进的分析工具
MX63系列的各种观察功能可生成清晰锐利的图像，让用户能够对样品进行可靠的缺陷检测。全新照明技术和PRECiV图像分析软件的图像采集选项为用户评估样品和记录结果提供了更多选择。
从不可见到可见：MIX观察和图像采集
MIX观察技术通过将暗场与明场、荧光或偏振光等其他观察方法相结合，生成独特的观察图像。MIX观察技术使用户能够查看使用传统显微镜难以看到的缺陷。暗场观察所用的环形LED照明器具有在指定时间仅使用一个象限的定向暗场功能。该功能可减少样品光晕，对于样品表面纹理的可视化非常有用。
为质量检验提供精细的光学和数字成像
奥林巴斯研发高质量光学器件和先进数字成像技术的悠久历史成就了具有卓越测量精度的一系列可靠光学器件和显微镜。
高数值孔径和长工作距离相结合
物镜对显微镜的性能至关重要。新的MXPLFLN物镜通过同时实现数值孔径和工作距离最大化，为MPLFLN系列落射式照明成像增加了深度。放大20倍和50倍时，分辨率越高，通常意味着工作距离越短，这会迫使样品或物镜在物镜交换过程中缩回。在许多情况下，MXPLFLN系列的3 mm工作距离消除了这一问题，使检查速度更快，物镜碰到样品的可能性更小。
| MX63 | MX63L |
| 光学系统 | UIS2光学系统（无限远校正系统） |
| 显微镜镜架 | 反射光照明 | 白光LED（带光强度管理器）12 V 100 W卤素灯，100W汞灯，光导
明场/暗场/反射镜分光镜组件手动切换。（反射镜分光镜组件为选配件。）
通过手动操作调整3位编码分光镜组件
内置电动孔径光阑（针对所有物镜预设，暗场自动完全打开）
观察模式：明场、暗场、微分干涉对比度（DIC）*1、简易偏振光*1、荧光*1、红外和MIX观察（4个定向暗场）*2
*1 选配分光镜组件，*2 需使用MIX观察配置 |
| 透射光照明 | 透射光照明装置：需使用MX-TILA或MX-TILLB。
- MX-TILLA：聚光镜（数值孔径 0.5）和孔径光阑
- MX-TILLB：聚光镜（数值孔径 0.6）、孔径光阑和视场光阑
光源：LG-LSLED（LED光源）光导：LG-SF
观察模式：明场、简易偏振光 |
| 对焦 | 行程：32 mm
每转行程微调：100 μm
最小分度：1 μm
配上限限位器和粗调手柄扭矩调节 |
| 最大载荷重量（包括载物台和支架） | 8 kg | 15 kg |
| 观察筒 | 宽视场（FN 22 mm） | 正像三目镜筒：U-ETR4
正像可调倾角三目镜筒：U-TTR-2
倒像三目镜筒：U-TR30-2、U-TR30IR（用于红外观察）
倒置双目镜筒：U-BI30-2
倒像可调倾角双目镜筒：U-TBI30 |
| 超宽视场（FN 26.5 mm） | 正像可调倾角三目镜筒：MX-SWETTR（光程切换100% [目镜]：0 [相机] 或0：100%）
正像可调倾角三目镜筒：U-SWETTR（光程切换100% [目镜]：0 [相机] 或20%：80%）
倒像三目镜筒：U-SWTR-3 |
| 电动物镜转换器 | 明场
带DIC插槽的电动六孔：U-D6REMC
带DIC插槽的电动中心补正五孔：U-P5REMC 明场和暗场
带DIC插槽的电动六孔：U-D6BDREMC
带DIC插槽的电动五孔：U-D5BDREMC
带DIC插槽的电动中心补正五孔：U-P5BDREMC
带真空装置的电动版：U-D5BDREMC-VA |
| 载物台（X x Y） | 带内置离合驱动的同轴右手柄：MX-SIC8R
行程：210 x 210 mm
透射光照明区域：189 x 189 mm 带内置离合驱动的同轴右手柄：MX-SIC6R2
行程：158 x 158 mm
（仅适用于反射光） | 带内置离合驱动的同轴右手柄：MX-SIC1412R2
行程：356 x 305 mm
透射光照明区域：356 x 284 mm |
| 重量 | 约35.6kg（显微镜镜架26kg） | 约44kg（显微镜镜架28.5kg） |
微信/手机： 18938648240 QQ : 1605935956 电话 : 075583317774 Email : 1605935956@qq.com
