NEWPORT 优铂特 MTN300PPV6 MTN 高载重钢电动线性位移台
电动线性位移台,不锈钢,步进电机,300mm行程,真空,M4&M6
MTN300PPV6线性位移台采用全钢结构,将高刚度和热稳定性与低轮廓设计相结合。这个步进驱动版本有300 mm的行程和0.2um最小位移增量。MTN位移台可承受高达100 kg的重量,具有高达20 N的极高轴向载重能力。其特点包括:相对的单行轴承表面、经过金刚石修正的丝杠、匹配的精密研磨螺母和非移动滚珠保持架设计。螺母设计包括防反冲预加载和精密的解耦系统,确保很少甚至没有位移台移动。非迁移式球笼设计可防止垂直应用中的任何漂移。真空兼容至10-6 Torr。注意:由于各种馈通配置和 顾客偏好,位移台附带的电缆不是真空兼容的。请联系Newport,了解真空兼容电缆。
参数
行程范围
300 mm
最大速度
20 mm/s
最小位移增量
400 nm
中心负载能力
1000 N
轴向负载 (+Cx)
100 N
逆轴向负载能力 (-Cx)
-21 N
精度,典型值
±2.5 µm
精度,保证值
±3.0 µm
单向重复精度,典型值
±0.50 µm
单向重复精度,保证值
±.75 µm
双向重复精度,典型值
±2.25 µm
双向重复精度,保证值
±2.75 µm
俯仰,典型值
±30 µrad
俯仰,保证值
±60 µrad
俯仰顺应性
6 µrad/Nm
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