M-ILS100LM-S线性电机位移台采用了坚固的设计，具有100 mm的高性能行程和低成本设计，使其成为精密工业应用的经济高效的解决方案，例如半导体晶片检查、微电子测试和组装、拾取和放置、DNA测序或激光加工。它采用了一种经过FEM优化的挤压铝型材，该型材非常坚硬，最大限度地减少了铝型材和钢轨热膨胀系数不同所造成的弯曲效应。车身的刚性使负载下的挠度最小。ILS-LM采用了居中、高效的三相同步无铁芯线性电机，绝对无噪音，具有更高的速度、更高的加速度和更高的系统响应性，不会出现电机电刷或驱动螺钉磨损。循环滚珠轴承滑座具有卓越的有效载荷能力和长寿命。运动平稳，噪音低。精密位置反馈由安装在位移台上的可重复线性标尺提供。 M-ILS100LM-S的编码器信号将由Newport插值具有nm分辨率的XPS-D运动控制器，具有卓越的位置灵敏度、可重复性和稳定性。相关的驱动模块和电缆套件是必需的，必须单独购买(参见下面的附件部分)。