NEWPORT 优铂特 M-IMS1200LM-SA-S IMS-LM 高性能长行程线性电机平移台
电动线性位移台,线性电机,1200mm行程,XPS-D/RL,不带电缆,M6
M - IMS1200LM - SA - S线性位移台是为具有1200 mm行程范围的自支撑应用而设计。FEM优化铝本体的极端刚度支持4点安装,而不会降低其性能,非常适合延迟线和非平面安装表面上的其他应用。线性电机采用居中、高效的三相同步铁芯,线性电机作为驱动元件,提供高速、高加速度和高系统响应性。IMS系列位移台是许多精密工业应用的理想之选,例如半导体晶片检测、微电子测试和组装、DNA测序或激光加工。相关的驱动模块和电缆套件是必需的,必须单独购买(参见下文附件部分)。
参数
行程范围
1200 mm
最大速度1
1000 mm/s
最小位移增量
20 nm
连续运动力
100 N
峰值驱动力
210 N
中心负载能力
100 N
精度,典型值
±5.0 µm
精度,保证值
±15.0 µm
双向重复精度,典型值
±0.13 µm
双向重复精度,保证值
±0.50 µm
俯仰,典型值
±125 µrad
俯仰,保证值
±250 µrad
俯仰顺应性
2 µrad/Nm
偏摆,典型值
±40 µrad
注释:
1000 mm/s with XPS-EDBL, 500 mm/s with XPS-DRV11 / XPS-DRV02
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