NEWPORT 优铂特 XMS100V 超高精度直接驱动垂直线性平移台
电动垂直位移台，超精密线性电机，100 mm，100N
XMS100V位移台包括安装在高平坦度（表面平坦度在5 µm以内）或支架上的标准XMS100位移台以及与滑架相连的低摩擦气缸。气缸与滑架的定制设计连接消除了气缸运动对XMS100位移台性能的影响。通过适当调节压力，可以实现负载的完美平衡。关闭电动机电源后，气缸的气门将使滑架受控下降，也可提供更紧凑但特定负载的磁性配重。请与内部销售支持团队联系，以讨论应用程序要求并获得最适合您需求的解决方案报价。
参数
行程范围
100 mm
最小位移增量
0.05 µm
最大速度
300 mm/s
中心负载能力
100 N
精度，保证值
± 0.75 µm
双向重复精度，保证值
± 0.05 µm
限位开关
Optical, fiducial on encoder
原点
Optical, at center of travel, including mechanical zero signal
俯仰顺应性
2.5 µrad/Nm
滚转顺应性
2.0 µrad/Nm
偏摆顺应性
3.5 µrad/Nm
直线度，平面度
± 0.75 µm
电缆长度
5 m
重量
3.5 kg
MTBF
20,000 h
顺应性
RoHS 3, CE
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