NEWPORT 优铂特 MLT25-Z 超高精度线性电机垂直位移台
电动垂直位移台，25mm行程，线性电机，5N负载
MLT25-Z是一款高性能线性垂直位移台，行程为25毫米。具有磁性弹簧平衡系统，尺寸可补偿高达 0.5 kg的负载。MLT25-Z随附4个配重板（每个0.1公斤），使用时应根据客户有效负载调整数量。
参数
行程范围
25 mm
最小位移增量
5 nm
最大速度
500 mm/s
最大加速度
0.5 g
最大持续力
3 N
中心负载能力
5 N
精度，保证值
±0.5 µm
双向重复精度，保证值
±0.15 µm
驱动方式
Ironless Motor
反馈
1 Vpp 20 µm pitch
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