NEWPORT 优铂特 UTS50PPV6 UTS 超薄型钢线性位移台
电动线性位移台,不锈钢,50mm行程,步进电机,真空兼容
UTS50PPV6真空兼容线性位移台结合了流行UTM系列的许多优点。这款位移台采用了低轮廓设计,具有极好的刚度和热稳定性,使其非常适合于温度不好控制的环境。步进电机的高输出扭矩最大限度地降低了失步风险,并提供了最佳MIM。它还配有一个经过金刚石校正的丝杠和一个精密研磨螺母,其中包括防反冲预加载和一个复杂的解耦系统。
注意:由于各种馈通配置和顾客偏好,位移台附带的电缆不是真空兼容的。请联系Newport,了解真空兼容电缆。
参数
行程范围
50 mm
最大速度
10 mm/s
最小位移增量
300 nm
中心负载能力
100 N
轴向负载 (+Cx)
50 N
逆轴向负载能力 (-Cx)
-10 N
精度,典型值
±1.2 µm
精度,保证值
±2.5 µm
单向重复精度,典型值
±0.25 µm
单向重复精度,保证值
±0.50 µm
双向重复精度,典型值
±2.3 µm
双向重复精度,保证值
±3.0 µm
俯仰,典型值
±17 µrad
俯仰,保证值
±37 µrad
俯仰顺应性
15 µrad/Nm
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