NEWPORT   优铂特   UTS100PPV6    UTS 超薄型钢线性位移台

电动线性位移台，不锈钢，100mm行程，步进电机，真空兼容

UTS100 PPV 6真空兼容线性位移台结合了流行UTM系列的许多优点。这款位移台采用了低轮廓设计，具有极好的刚度和热稳定性，使其非常适合于温度不好控制的环境。步进电机的高输出扭矩最大限度地降低了失步风险，并提供了最佳MIM。它还配有一个经过金刚石校正的丝杠和一个精密研磨螺母，其中包括防反冲预加载和一个复杂的解耦系统。
注意:由于各种馈通配置和 顾客偏好，位移台附带的电缆不是真空兼容的。请联系Newport，了解真空兼容电缆。

参数

• 行程范围
  100 mm
• 最大速度
  10 mm/s
• 最小位移增量
  300 nm
• 中心负载能力
  100 N
• 轴向负载 (+Cx)
  50 N
• 逆轴向负载能力 (-Cx)
  -10 N
• 精度，典型值
  ±1.7 µm
• 精度，保证值
  ±3.5 µm
• 单向重复精度，典型值
  ±0.30 µm
• 单向重复精度，保证值
  ±0.5 µm
• 双向重复精度，典型值
  ±2.3 µm
• 双向重复精度，保证值
  ±3.0 µm
• 俯仰，典型值
  ±25 µrad
• 俯仰，保证值
  ±50 µrad
• 俯仰顺应性
  15 µrad/Nm

• 偏摆，典型值
  ±20 µrad
• 偏摆，保证值
  ±35 µrad
• 偏摆顺应性
  15 µrad/Nm
• 滚转顺应性
  10 µrad/Nm
• 驱动方式
  Stepper Motor
• 原点重复精度
  ±2.5 µm
• 电缆长度
  3 m  
• 真空兼容性
  10-6 Torr
• 螺纹类型
  M4 and M6
• 重量
  3.3 kg  
• MTBF
  20,000 h (25% load, 10% duty cycle)
• 最大耗电量
  10 W
• 顺应性
  RoHS 3, CE

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