NEWPORT 优铂特 ZVR-PP ZVR集成步进电机垂直和旋转位移台
晶片定位位移台，集成垂直和步进电机旋转台
Newport的新型ZVR-PP是集成的Z垂直和Theta旋转定位台，设计用于精确地提升和旋转200毫米和/或300毫米直径的晶片卡盘。ZVR-PP在超薄的轮廓设计中提供了精确的10毫米垂直和连续360度角度行进。ZVR-PP的低质量和高固有频率，为快速步进和停留应用提供了平台。通过单点访问集成的真空和电线，以及三点安装接口，ZVR-PP为晶片定位等应用提供了方便、稳定和高性能的能力。有关ZVR-PP的完整规格，请参考数据表。有关ZVR-PP旋转和垂直运动能力的完整规格，请参考数据表。
参数
行程范围
10 mm
角度范围
360°
最大速度
40°/s
最大线速度
10 mm/s
最小位移增量
0.2 mdeg
最小位移增量，线性
0.05 µm
最大扭矩
1 N·m
中心负载能力
100 N
单向重复精度，典型值
Rotary: ±1.0 mdeg - Linear: ±0.2 µm
单向重复精度，保证值
Rotary: ±1.5 mdeg - Linear: ±1.0 µm
双向重复精度，典型值
±3.0 mdeg
双向重复精度，保证值
±6.0 mdeg
双向重复精度，线性
±1.2 (typical) ±2.0 (guaranteed) µm
精度，典型值
Rotary: ±10 mdeg - Linear: ±0.5 µm
精度，保证值
Rotary: ±17 mdeg - Linear: ±2.0 µm
摆动，典型值
±22 µrad
摆动，保证值
±40 µrad
偏心率，典型值
±2.2 µm
偏心率，保证值
±4.0 µm
原点重复精度
Rotary: ±20 mdeg
Linear :±2.5 µm
MTBF
20,000 h (25% load, 10% duty cycle)
电缆长度
3 m
孔径
50 mm
螺纹类型
M4
重量
4.2 kg
顺应性
RoHS 3, CE
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