NEWPORT 优铂特 ZVR-PC 用于晶片定位的集成垂直旋转台
晶片定位位移台，集成垂直和直流旋转台
Newport的新型ZVR-PC是集成Z向垂直运动和直流伺服θ旋转的定位台，旨在精确地抬高和旋转200毫米和/或300毫米直径的晶片夹。ZVR-PC采用超薄设计，可提供精确的10毫米垂直运动和连续360°的角向行程。ZVR-PC通过在θ阶段使用直流伺服电机和集成的旋转编码器，能够进行高速，高性能的定位。通过集成的真空和单点接入的电线，以及三点安装接口，ZVR-PC为晶片定位等应用提供了方便，稳定和高性能的功能。有关ZVR-PC旋转和垂直运动能力的完整说明，请参考数据表。
参数
行程范围
10 mm
角度范围
360°
最大速度
80°/s
最大线速度
10 mm/s
最小位移增量
2.0 mdeg
最小位移增量，线性
0.05 µm
最大扭矩
1 Nm
中心负载能力
100 N
单向重复精度，典型值
±0.50 mdeg, ±0.2 µm (linear)
单向重复精度，保证值
±1.5 mdeg, ±1.0 µm (linear)
双向重复精度，典型值
±1.3 mdeg
双向重复精度，保证值
±3.0 mdeg
双向重复精度，线性
±1.2 (typical) ±2.0 (guaranteed) µm
精度，典型值
Rotary: ±10 mdeg - Linear: ±0.5 µm
精度，保证值
Rotary: ±15 mdeg - Linear: ±2.0 µm
摆动，典型值
±22 µrad
摆动，保证值
±40 µrad
偏心率，典型值
±2.2 µm
偏心率，保证值
±4.0 µm
原点重复精度
Rotary: ±7.5 mdeg
Linear: ±2.5 µm
MTBF
20,000 h (25% load, 10% duty cycle)
电缆长度
3 m
孔径
50 mm
螺纹类型
M4
重量
4.2 kg
顺应性
RoHS 3, CE
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