NEWPORT 优铂特 RGA150 薄型大孔径直驱旋转平台
电动旋转位移台，高速，薄款设计
RGA150 薄型和大孔径旋转载物台满足快速调整晶圆和真空吸盘角度的需求。 尽管 RGA150 专为半导体应用量身定制，但也可用于其他工业应用，例如通孔成像/检测或激光加工、自动化或任何需要快速定位的通用定位应用。
参数
角度范围
360°
最大速度
1800°/s
最小位移增量
0.01 mdeg
峰值驱动扭矩
11 Nm
中心负载能力
50 N
双向重复精度，典型值
±0.0975 mdeg
精度，典型值
±4 mdeg
精度，保证值
±8 mdeg
摆动，典型值
±12 µrad
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