NEWPORT 优铂特 HXP100V6-MECA 真空兼容的六足位移台
六角，真空兼容，200毫米直径平台，20kg负载，M6
HXP100V6-MECA 真空兼容六脚架是一种并联运动装置，能够提供六个自由度：X、Y、Z、俯仰、翻滚和偏航。HXP100V6具有20kg的中心负载能力，对于需要在多达六个独立轴中具有高负载能力和精度的复杂运动应用是有效的解决方案。与复杂且价格昂贵的形象相反，HXP100六角架不仅价格合理，而且非常易于使用。通过使用Newport的免费HexaViz仿真软件来确定HXP100V6-MECA是否适合您的应用。与HXP100V6-ELEC-D一起订购。请注意：机械设计为可在10-6 Torr的压力下运行，但是连接器不是真空兼容的。对于真空兼容的连接器、除气测试或者更快的交付，请致电Newport（800）222 6440。
参数
类型 Vacuum Compatible 尺寸 Ø300 x 209 mm 中心负载能力 200 N 行程范围 X、Y、Z ±27.5, ±25, ±14 mm 行程范围 ΘX、ΘY、ΘZ ±11.5, ±10.5, ±19 ° 最小位移增量 X、Y、Z 0.5, 0.5, 0.25 µm 最小位移增量 ΘX、ΘY、ΘZ 0.25, 0.25, 0.5 mdeg 单向重复精度 X、Y、Z - 典型值 ±0.50, ±0.50, ±0.50 µm 单向重复精度 ΘX, ΘY, ΘZ - 典型值 ±0.25, ±0.25, ±0.50 mdeg 最大速度 X、Y、Z 0.5, 0.5, 0.25 mm/s 最大速度（ΘX、ΘY、ΘZ） 0.2, 0.2, 0.4 °/s 刚度（X、Y、Z） 5, 5, 40 N/µm 双向重复精度（X、Y、Z），典型值 ±2.5, ±2.5, ±1.5 µm 双向重复精度（ΘX, ΘY, ΘZ），典型值 ±1.25, ±1.25, ±2.5 mdeg
连接器 DB25 Male (6) 电缆长度 1.5 m 电机 Stepper motor 原点 Optical, close to lower limit 原点重复精度 X,Y,Z: ±5.0, ±5.0, ±2.5 µm
U,V,W: ±2.5, ±2.5, ±5.0 mdeg 编码器分辨率 0.118405537 µm 轴数 6 重量 7.2 kg 真空兼容性 10-6 Torr 螺纹类型 M6 MTBF 5,000 h (25% load, 10% duty cycle) 顺应性 RoHS 3, CE
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