NEWPORT 优铂特 CONEX-AG-M100D 压电式双向绝对定位反射镜调整架
压电电机反射镜调整架,绝对定位,集成控制器
CONEX-AG-M100D是压电马达驱动的反射镜调整架,带有内置2轴绝对角度位置传感器。绝对位置传感器不仅可以提供高度可重复的定位,而且还可以恢复以前保存的位置。利用成熟的Agilis™压电电机直接驱动技术,即使关闭电源,CONEX-AG-M100D仍将保持其位置。绝对位置传感器可实现0.001°闭环MIM和0.01°双向可重复性。开环使用时,在±0.75°的大运动范围内具有2 µrad MIM。
角度稳定性高
在期望的位置,AG-M100D 绝对位置反射镜调整架的角度稳定性与 ULTIMA 反射镜调整架相同。它的热稳定性在 5 微弧度/°C的范围内。
闭环绝对位置调整功能
该反射镜调整架具有一个创新的微型绝对位置传感器。在类似于 Agilis系列1英寸反射镜调整架的占用空间内,即使在系统复位后,它也能够提供0.001°的角度定位能力。该 CONEX-AGAP 控制器的核心复位功能和绝对位置传感器的闭环算法的组合,可使该调整架的双向重复精度达到 0.01°。
微调性能
该反射镜调整架与其控制器一样具有紧凑的结构,但是能够在两个轴上以优于2 µrad的开环角度调整灵敏度实现±0.75°行程的调整。对于闭环定位,MIM 为 0.001°。
参数
材料
Aluminum
重量
85 g
精度
<0.05°
最大速度
> 0.4 °/sec
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